Cobalt Dragon
適用於大尺寸樣品的微光譜儀
Cobalt Dragon
專為大型樣品的精密微光譜分析而打造，可對超大尺寸基板上亞微米等級的微小區域進行高解析度的紫外－可見－近紅外光譜量測與成像。
無論是檢測平面顯示器中單一像素，還是繪製 300mm 半導體晶圓上的高解析薄膜厚度地圖，Cobalt Dragon™ 都能將微光譜技術推向巨量應用新境界。
Cobalt Dragon™ 擅長自動化分析數千個微點位於大面積樣品表面的光譜與薄膜厚度資訊，提供亞微米空間解析度的光譜與厚度映射圖。
Cobalt Dragon 規格表
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每一位客戶對我們而言都極為重要。從我們對待 客戶的方式，您將看見 Minerva 在光學領域所帶 來的不同。
我們的專業團隊可為您安裝設備並提供操作培訓，讓您親身見證 Dragon 的強大實力！
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如需協助，我們隨時透過電話、視訊會議或電子郵件為您服務。
無論是品管、研發還是製程量測，此系統皆提供一個穩定、可擴充的工業級平台，滿足最嚴苛的應用需求。
Cobalt Dragon™ 兼具高效能、可靠性與彈性擴充性，操作簡便、耐用耐操，讓您在各種高負荷實驗室環境中持續穩定運行，無後顧之憂。